Defnyddir lensys F-Theta yn gyffredin ar y cyd â drychau sganio galvanomedr mewn systemau ysgythru, torri a marcio laser. Yn nodweddiadol, cedwir ystumio F-Theta y lens yn llai nag 1% fel ei fod yn gallu cynhyrchu man manwl gywir yn y maes gwastad ar y plân delwedd.
Goddefgarwch Diamedr: +0/-0.13mm
Goddefgarwch Trwch: ±0.25mm
Goddefgarwch Hyd Ffocal: ±2%
Amrywiad Trwch Ymyl (ETV): ≤3 arc min.
Agorfa Clir: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Ansawdd Arwyneb: 40-20 SD
Gorchudd AR: R<0.2% fesul arwyneb @10.6μ